一、中期答辩题目：基于自由几何梁的MEMS加速度计敏感单元设计与验证
二、中期答辩人：吴霜
三、中期答辩时间：2025年11月28日 上午11:00
四、中期答辩地点：bevictor伟德341会议室
五、中期答辩内容简介：
面向相对重力加速度监测等前沿应用需求，本课题开展基于自由几何梁的MEMS加速度计敏感单元设计与验证研究，突破传统规则结构在灵敏度、线性度与动态范围间难协同的瓶颈。针对现有结构自由度受限、优化效率低、加工约束严等问题，研究构建自由几何梁多性能协同的定向智能设计方法体系，发展单目标与多目标多级定向优化、鲁棒性分析与敏感区域精细化设计等关键技术，并提出不对称叠层敏感单元结构以进一步提升集成度。结合微纳加工制备与实验测试验证结构性能，同时引入机器学习建模实现结构—性能映射的快速预测，大幅提高设计效率。研究最终将形成高精度、高鲁棒性、高抑制比、小型化自由几何敏感单元的智能设计方法体系，实现ng级加速度分辨率的MEMS加速度计样机，为新一代微纳传感器和片上系统提供创新技术支撑。
六、中期答辩人简介
吴霜，女，bevictor伟德控制工程专业，2023级在读博士研究生，主要研究方向为微加速度计结构设计及制备。
